Structural, chemical and optical features of nanocrystalline Si films prepared by PECVD techniques: Fid-Bau Portal

Structural, chemical and optical features of nanocrystalline Si films prepared by PECVD techniques

Park, M. B. / Cho, N. H.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Structural, chemical and optical features of nanocrystalline Si films prepared by PECVD techniques

Park, M. B. / Cho, N. H.

Structural, chemical and optical features of nanocrystalline Si films prepared by PECVD techniques

Park, M. B. / Cho, N. H.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Structural, chemical and optical features of nanocrystalline Si films prepared by PECVD techniques

Beteiligte:

Park, M. B. (Autor:in) / Cho, N. H. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 190 ; 151-156

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

Wang, X.Q. / Ding, J.N. / Yuan, N.Y. et al. | British Library Online Contents | 2012

Nanostructural and PL Features of nc-Si:H Thin Films Prepared by PECVD Techniques

Shim, J. H. / Cho, N. H. / Im, S. G. | British Library Online Contents | 2004

The structural evolution of nanocrystalline diamond films synthesized by r.f. PECVD

Liang, X. / Wang, L. / Yang, D. | British Library Online Contents | 2006

Nanostructural features of nc-Si:H thin films prepared by PECVD

Shim, J. H. / Im, S. / Cho, N. H. | British Library Online Contents | 2004

Residual stress in amorphous and nanocrystalline Si films prepared by PECVD with hydrogen dilution

Fu, Y. Q. / Luo, J. K. / Milne, S. B. et al. | British Library Online Contents | 2005

Nach oben