Modelling of ZrO2 deposition from ZrCl4 and H2O on the Si(100) surface: initial reactions and surface structures: Fid-Bau Portal

Modelling of ZrO2 deposition from ZrCl4 and H2O on the Si(100) surface: initial reactions and surface structures

Brodskii, V. V. / Rykova, E. A. / Bagatur'yants, A. A. / Korkin, A. A.

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Titel:

Modelling of ZrO2 deposition from ZrCl4 and H2O on the Si(100) surface: initial reactions and surface structures

Beteiligte:

Brodskii, V. V. (Autor:in) / Rykova, E. A. (Autor:in) / Bagatur'yants, A. A. (Autor:in) / Korkin, A. A. (Autor:in)

Erschienen in:

COMPUTATIONAL MATERIALS SCIENCE ; 24 ; 278-283

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0927-0256

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1 / 510

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