X-Ray Stress Measurements of TiCN Thin Films: Fid-Bau Portal

X-Ray Stress Measurements of TiCN Thin Films

Gotoh, M. / Murotani, T. / Sasaki, T. / Hirose, Y.

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Titel:

X-Ray Stress Measurements of TiCN Thin Films

Beteiligte:

Gotoh, M. (Autor:in) / Murotani, T. (Autor:in) / Sasaki, T. (Autor:in) / Hirose, Y. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 404/407 ; 677-682

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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