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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Micromachining of mesoporous oxide films for microelectromechanical system structures

    Beteiligte:

    Paik, J.-A. (Autor:in) / Fan, S.-K. (Autor:in) / Kim, C.-J. (Autor:in) / Wu, M. C. (Autor:in) / Dunn, B. (Autor:in)

    Erschienen in:

    JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 17 ; 2121-2129

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2002

    Format / Umfang:

    9 pages

    ISSN:

    0884-2914

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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