Effects of Local Texture and Grain Structure on the Sputtering Performance of Tantalum: Fid-Bau Portal

Effects of Local Texture and Grain Structure on the Sputtering Performance of Tantalum

Michaluk, C. A. / Field, D. P. / Nibur, K. A. / Wright, S. I. / Witt, R. A.

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Titel:

Effects of Local Texture and Grain Structure on the Sputtering Performance of Tantalum

Beteiligte:

Michaluk, C. A. (Autor:in) / Field, D. P. (Autor:in) / Nibur, K. A. (Autor:in) / Wright, S. I. (Autor:in) / Witt, R. A. (Autor:in) / Lee, D. N.

Erschienen in:

Textures of Materials ICOTOM 13 Part 2 ; 1615-1620

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 408/412

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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