Through-thickness texture gradient of tantalum sputtering target: Fid-Bau Portal

Through-thickness texture gradient of tantalum sputtering target

Deng, C. / Liu, S. F. / Hao, X. B. / Ji, J. L. / Liu, Q. / Fan, H. Y.

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Titel:

Through-thickness texture gradient of tantalum sputtering target

Beteiligte:

Deng, C. (Autor:in) / Liu, S. F. (Autor:in) / Hao, X. B. (Autor:in) / Ji, J. L. (Autor:in) / Liu, Q. (Autor:in) / Fan, H. Y. (Autor:in)

Erschienen in:

RARE METALS -BEIJING- ENGLISH EDITION ; 36 ; 523-526

Erscheinungsdatum:

01.01.2017

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1001-0521

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 669

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