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    Effects of Current Waveform and Bath Temperature on Surface Morphology and Texture of Copper Electrodeposits for ULSI

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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Effects of Current Waveform and Bath Temperature on Surface Morphology and Texture of Copper Electrodeposits for ULSI

    Beteiligte:

    Lee, H.-J. (Autor:in) / Lee, D. N. (Autor:in) / Lee, D. N.

    Erschienen in:

    Textures of Materials ICOTOM 13 Part 2 ; 1657-1662

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 408/412

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2002

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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