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    Titel:

    Generation of Chrome Masks with Micrometer-Scale Features Using Microlens Lithography

    Beteiligte:

    Wu, H. (Autor:in) / Odom, T. W. (Autor:in) / Whitesides, G. M. (Autor:in)

    Erschienen in:

    ADVANCED MATERIALS -DEERFIELD BEACH THEN WEINHEIM- ; 14 ; 1213-1216

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2002

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0935-9648

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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