Microstructure and electrophysical properties of SnO2, ZnO and In2O3 nanocrystalline films prepared by reactive magnetron sputtering: Fid-Bau Portal

Microstructure and electrophysical properties of SnO2, ZnO and In2O3 nanocrystalline films prepared by reactive magnetron sputtering

Ryzhikov, A. S. / Vasiliev, R. B. / Rumyantseva, M. N. / Ryabova, L. I. / Dosovitsky, G. A. / Gilmutdinov, A. M. / Kozlovsky, V. F. / Gaskov, A. M.

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Ryzhikov, A. S. / Vasiliev, R. B. / Rumyantseva, M. N. / Ryabova, L. I. / Dosovitsky, G. A. / Gilmutdinov, A. M. / Kozlovsky, V. F. / Gaskov, A. M.

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Titel:

Microstructure and electrophysical properties of SnO2, ZnO and In2O3 nanocrystalline films prepared by reactive magnetron sputtering

Beteiligte:

Ryzhikov, A. S. (Autor:in) / Vasiliev, R. B. (Autor:in) / Rumyantseva, M. N. (Autor:in) / Ryabova, L. I. (Autor:in) / Dosovitsky, G. A. (Autor:in) / Gilmutdinov, A. M. (Autor:in) / Kozlovsky, V. F. (Autor:in) / Gaskov, A. M. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 96 ; 268-274

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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