Simulation of SiO2 build-up in silicon under oxygen bombardment: Fid-Bau Portal

Simulation of SiO2 build-up in silicon under oxygen bombardment

Guzman, B. / Serrano, J. J. / Blanco, J. M. / Aguilar, M. / Ameziane, O.

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Titel:

Simulation of SiO2 build-up in silicon under oxygen bombardment

Beteiligte:

Guzman, B. (Autor:in) / Serrano, J. J. (Autor:in) / Blanco, J. M. (Autor:in) / Aguilar, M. (Autor:in) / Ameziane, O. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 203-204 ; 139-142

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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