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    Titel:

    A resonance photoionization sputtered neutral mass spectrometry instrument for submicron microarea analysis of ULSI devices

    Beteiligte:

    Shichi, H. (Autor:in) / Osabe, S. (Autor:in) / Sugaya, M. (Autor:in) / Ino, T. (Autor:in) / Kakibayashi, H. (Autor:in) / Kanehori, K. (Autor:in) / Mitsui, Y. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 203-204 ; 228-234

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2003

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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