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    Titel:

    Effects of process variables on properties and composition of a-Si:C:H films

    Beteiligte:

    Moskowitz, I. L. (Autor:in) / Lanford, W. A. (Autor:in) / Babu, S. V. (Autor:in)

    Erschienen in:

    JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 18 ; 129-138

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2003

    Format / Umfang:

    10 pages

    ISSN:

    0884-2914

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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