Studies on ZnO:Al thin films deposited by in-line reactive mid-frequency magnetron sputtering: Fid-Bau Portal

Studies on ZnO:Al thin films deposited by in-line reactive mid-frequency magnetron sputtering

Hong, R. J. / Jiang, X. / Szyszka, B. / Sittinger, V. / Pflug, A.

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Titel:

Studies on ZnO:Al thin films deposited by in-line reactive mid-frequency magnetron sputtering

Beteiligte:

Hong, R. J. (Autor:in) / Jiang, X. (Autor:in) / Szyszka, B. (Autor:in) / Sittinger, V. (Autor:in) / Pflug, A. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 207 ; 341-350

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

10 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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