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Applications of laser lithography on oxide film to titanium micromachining

Chauvy, P. F. / Hoffmann, P. / Landolt, D.

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Titel:

Applications of laser lithography on oxide film to titanium micromachining

Beteiligte:

Chauvy, P. F. (Autor:in) / Hoffmann, P. (Autor:in) / Landolt, D. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 208/209 ; 165-170

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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