Laser micromachining of sputtered DLC films: Fid-Bau Portal

Laser micromachining of sputtered DLC films

Fu, Y. Q. / Luo, J. K. / Flewitt, A. J. / Ong, S. E. / Zhang, S. / Milne, W. I.

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Titel:

Laser micromachining of sputtered DLC films

Beteiligte:

Fu, Y. Q. (Autor:in) / Luo, J. K. (Autor:in) / Flewitt, A. J. (Autor:in) / Ong, S. E. (Autor:in) / Zhang, S. (Autor:in) / Milne, W. I. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 252 ; 4914-4918

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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