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X-ray diffraction and electrical characterization of photo-CVD zirconium oxide layers

Yu, J. J. / Boyd, I. W.

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Titel:

X-ray diffraction and electrical characterization of photo-CVD zirconium oxide layers

Beteiligte:

Yu, J. J. (Autor:in) / Boyd, I. W. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 208/209 ; 374-377

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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