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Formation of stable zirconium oxide on silicon by photo-assisted sol-gel processing

Yu, J. J. / Zhang, J. Y. / Boyd, I. W.

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Titel:

Formation of stable zirconium oxide on silicon by photo-assisted sol-gel processing

Beteiligte:

Yu, J. J. (Autor:in) / Zhang, J. Y. (Autor:in) / Boyd, I. W. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 186 ; 190-194

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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