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CNx/TiNy films prepared by ion-beam sputtering

Yu, D. L. / He, J. L. / Liu, S. M. / Li, D. C. / Tian, Y. J. / Yanagisawa, O.

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Titel:

CNx/TiNy films prepared by ion-beam sputtering

Beteiligte:

Yu, D. L. (Autor:in) / He, J. L. (Autor:in) / Liu, S. M. (Autor:in) / Li, D. C. (Autor:in) / Tian, Y. J. (Autor:in) / Yanagisawa, O. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE ; 38 ; 1471-1477

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0022-2461

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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