From overall equipment efficiency (OEE) to overall Fab effectiveness (OFE): Fid-Bau Portal

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From overall equipment efficiency (OEE) to overall Fab effectiveness (OFE)

Oechsner, R. / Pfeffer, M. / Pfitzner, L. / Binder, H. / Muller, E. / Vonderstrass, T.

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Titel:

From overall equipment efficiency (OEE) to overall Fab effectiveness (OFE)

Beteiligte:

Oechsner, R. (Autor:in) / Pfeffer, M. (Autor:in) / Pfitzner, L. (Autor:in) / Binder, H. (Autor:in) / Muller, E. (Autor:in) / Vonderstrass, T. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 5 ; 333-339

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Print

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

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