E-MRS Spring Meeting 2002. The 300mm Silicon Era: Material, Equipment, Technology: Fid-Bau Portal

E-MRS Spring Meeting 2002. The 300mm Silicon Era: Material, Equipment, Technology

Richter, H. / Umeno, M. / Wagner, P.

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Titel:

E-MRS Spring Meeting 2002. The 300mm Silicon Era: Material, Equipment, Technology

Beteiligte:

Richter, H. (Autor:in) / Umeno, M. (Autor:in) / Wagner, P. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 5 ; 311

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

311 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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