XPS, AFM and nanoindentation studies of Ti1-xAlxN films synthesized by reactive unbalanced magnetron sputtering: Fid-Bau Portal

XPS, AFM and nanoindentation studies of Ti1-xAlxN films synthesized by reactive unbalanced magnetron sputtering

Shum, P. W. / Zhou, Z. F. / Li, K. Y. / Shen, Y. G.

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Titel:

XPS, AFM and nanoindentation studies of Ti1-xAlxN films synthesized by reactive unbalanced magnetron sputtering

Beteiligte:

Shum, P. W. (Autor:in) / Zhou, Z. F. (Autor:in) / Li, K. Y. (Autor:in) / Shen, Y. G. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 100 ; 204-213

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

10 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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