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Sidewell surface roughness of sputtered silicon ii: model verification

Ali, M. Y. / Hung, N. P. / Ngoi, B. K. A. / Yuan, S.

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Titel:

Sidewell surface roughness of sputtered silicon ii: model verification

Beteiligte:

Ali, M. Y. (Autor:in) / Hung, N. P. (Autor:in) / Ngoi, B. K. A. (Autor:in) / Yuan, S. (Autor:in)

Erschienen in:

SURFACE ENGINEERING -LONDON- ; 19 ; 104-108

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0267-0844

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.44

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