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    Titel:

    Electrochemical reliability of plasma-polymerized cyclohexane films deposited on copper in microelectronic devices

    Beteiligte:

    Park, Z. T. (Autor:in) / Choi, Y. S. (Autor:in) / Kim, J. G. (Autor:in) / Boo, J. H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE LETTERS ; 22 ; 945-947

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2003

    Format / Umfang:

    3 pages

    ISSN:

    0261-8028

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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