Obtaining of epitaxial films of metal silicides by ion implantation and molecular beam epitaxy: Fid-Bau Portal

Obtaining of epitaxial films of metal silicides by ion implantation and molecular beam epitaxy

Umirzakov, B. E. / Tashmukhamedova, D. A. / Boltaev, E. U. / Dzhurakhalov, A. A.

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Titel:

Obtaining of epitaxial films of metal silicides by ion implantation and molecular beam epitaxy

Beteiligte:

Umirzakov, B. E. (Autor:in) / Tashmukhamedova, D. A. (Autor:in) / Boltaev, E. U. (Autor:in) / Dzhurakhalov, A. A. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 101 ; 124-127

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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