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Growth of Titanium Dioxide Thin Films by LPCVD

Li, W.-y. / Li, G. / Cai, X. / Sun, Y.-p. / Zhao, J.-f.

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Titel:

Growth of Titanium Dioxide Thin Films by LPCVD

Beteiligte:

Li, W.-y. (Autor:in) / Li, G. (Autor:in) / Cai, X. (Autor:in) / Sun, Y.-p. (Autor:in) / Zhao, J.-f. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -HANGZHOU- ; 21 ; 331-334

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1004-793X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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