Chemical Composition of Silicon Nitride Thin Films Prepared by LPCVD: Fid-Bau Portal

Chemical Composition of Silicon Nitride Thin Films Prepared by LPCVD

Ge, Q.-m. / Liu, X.-j. / Huang, Z.-y. / Huang, L.-p.

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Titel:

Chemical Composition of Silicon Nitride Thin Films Prepared by LPCVD

Beteiligte:

Ge, Q.-m. (Autor:in) / Liu, X.-j. (Autor:in) / Huang, Z.-y. (Autor:in) / Huang, L.-p. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -HANGZHOU- ; 24 ; 192-195

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1004-793X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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