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Growth rate modeling for selective tungsten LPCVD

Wolf, H. / Streiter, R. / Schulz, S. E. / Gessner, T.

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Titel:

Growth rate modeling for selective tungsten LPCVD

Beteiligte:

Wolf, H. (Autor:in) / Streiter, R. (Autor:in) / Schulz, S. E. (Autor:in) / Gessner, T. (Autor:in) / Gessner, T. / Schulz, S. E.

Erschienen in:

Materials for Advanced Metallization ; 332-338

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 91

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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