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    Titel:

    Computational Modeling for the Development of CVD SiC Epitaxial Growth Processes

    Beteiligte:

    Melnychuk, G. (Autor:in) / Koshka, Y. (Autor:in) / Yingquan, S. (Autor:in) / Mazzola, M. (Autor:in) / Pittman, C. U. (Autor:in) / Bergman, P. / Janzen, E.

    Erschienen in:

    Silicon Carbide and Related Materials 2002 ; 177-180

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 433/436

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2003

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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