Damage formation and recovery in temperature helium implanted 4H-SiC: Fid-Bau Portal

Damage formation and recovery in temperature helium implanted 4H-SiC

Oliviero, E. / Tromas, C. / Pailloux, F. / Declemy, A. / Beaufort, M. F. / Blanchard, C. / Barbot, J. F.

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Titel:

Damage formation and recovery in temperature helium implanted 4H-SiC

Beteiligte:

Oliviero, E. (Autor:in) / Tromas, C. (Autor:in) / Pailloux, F. (Autor:in) / Declemy, A. (Autor:in) / Beaufort, M. F. (Autor:in) / Blanchard, C. (Autor:in) / Barbot, J. F. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 102 ; 289-292

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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