Mechanical Properties of Ultrananocrystalline Diamond Thin Films Relevant to MEMS/NEMS Devices: Fid-Bau Portal

Mechanical Properties of Ultrananocrystalline Diamond Thin Films Relevant to MEMS/NEMS Devices

Espinosa, H. D. / Prorok, B. C. / Peng, B. / Kim, K. H. / Moldovan, N. / Auciello, O. / Carlisle, J. A. / Gruen, D. M. / Mancini, D. C.

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Titel:

Mechanical Properties of Ultrananocrystalline Diamond Thin Films Relevant to MEMS/NEMS Devices

Beteiligte:

Espinosa, H. D. (Autor:in) / Prorok, B. C. (Autor:in) / Peng, B. (Autor:in) / Kim, K. H. (Autor:in) / Moldovan, N. (Autor:in) / Auciello, O. (Autor:in) / Carlisle, J. A. (Autor:in) / Gruen, D. M. (Autor:in) / Mancini, D. C. (Autor:in)

Erschienen in:

EXPERIMENTAL MECHANICS ; 43 ; 256-268

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

13 pages

ISSN:

0014-4851

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1

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