MEMS/NEMS based on mono-, nano-, and ultrananocrystalline diamond films: Fid-Bau Portal

MEMS/NEMS based on mono-, nano-, and ultrananocrystalline diamond films

Sumant, A.V. / Auciello, O. / Liao, M. / Williams, O.A.

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Titel:

MEMS/NEMS based on mono-, nano-, and ultrananocrystalline diamond films

Beteiligte:

Sumant, A.V. (Autor:in) / Auciello, O. (Autor:in) / Liao, M. (Autor:in) / Williams, O.A. (Autor:in)

Erschienen in:

MRS BULLETIN- MATERIALS RESEARCH SOCIETY ; 39 ; 511-516

Erscheinungsdatum:

01.01.2014

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0883-7694

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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