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    Titel:

    Ultrananocrystalline and Nanocrystalline Diamond Thin Films for MEMS/NEMS Applications

    Beteiligte:

    Sumant, A.V. (Autor:in) / Auciello, O. (Autor:in) / Carpick, R.W. (Autor:in) / Srinivasan, S. (Autor:in) / Butler, J.E. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MRS BULLETIN- MATERIALS RESEARCH SOCIETY ; 35 ; 281-288

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2010

    Format / Umfang:

    8 pages

    ISSN:

    0883-7694

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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