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Tensile testing of MEMS materials-recent progress

Sharpe, Jr., W. N. / Bagdahn, J. / Jackson, K. / Coles, G.

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Titel:

Tensile testing of MEMS materials-recent progress

Beteiligte:

Sharpe, Jr., W. N. (Autor:in) / Bagdahn, J. (Autor:in) / Jackson, K. (Autor:in) / Coles, G. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE ; 38 ; 4075-4079

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0022-2461

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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