Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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Micromechanical testing of MEMS materials
Micromechanical testing of MEMS materials
Micromechanical testing of MEMS materials
Buchheit, T. E. (Autor:in) / Glass, S. J. (Autor:in) / Sullivan, J. R. (Autor:in) / Mani, S. S. (Autor:in) / Lavan, D. A. (Autor:in) / Friedmann, T. A. (Autor:in) / Janek, R. (Autor:in)
JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE ; 38 ; 4081-4086
01.01.2003
6 pages
Aufsatz (Zeitschrift)
Englisch
DDC:
620.11
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