Micromechanical testing of SU-8 cantilevers: Fid-Bau Portal

Micromechanical testing of SU-8 cantilevers

HOPCROFT, M. / KRAMER, T. / KIM, G. / TAKASHIMA, K. / HIGO, Y. / MOORE, D. / BRUGGER, J.

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Titel:

Micromechanical testing of SU-8 cantilevers

Beteiligte:

HOPCROFT, M. (Autor:in) / KRAMER, T. (Autor:in) / KIM, G. (Autor:in) / TAKASHIMA, K. (Autor:in) / HIGO, Y. (Autor:in) / MOORE, D. (Autor:in) / BRUGGER, J. (Autor:in)

Erschienen in:

FATIGUE AND FRACTURE OF ENGINEERING MATERIALS AND STRUCTURES ; 28 ; 735-742

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

8756-758X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1123

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