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    Titel:

    Reliability assessment of polysilicon MEMS structures under mechanical fatigue loading

    Beteiligte:

    Soboyejo, A. B. (Autor:in) / Bhalerao, K. D. (Autor:in) / Soboyejo, W. O. (Autor:in)

    Erschienen in:

    JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE ; 38 ; 4163-4167

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2003

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    0022-2461

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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