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Modeling of fatigue in polysilicon MEMS structures

Bhalerao, K. / Soboyejo, A. B. / Soboyejo, W. O.

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Titel:

Modeling of fatigue in polysilicon MEMS structures

Beteiligte:

Bhalerao, K. (Autor:in) / Soboyejo, A. B. (Autor:in) / Soboyejo, W. O. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE ; 38 ; 4157-4161

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0022-2461

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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