On the evolution of surface morphology of polysilicon MEMS structures during fatigue: Fid-Bau Portal

On the evolution of surface morphology of polysilicon MEMS structures during fatigue

Shrotriya, P. / Allameh, S. M. / Soboyejo, W. O.

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Titel:

On the evolution of surface morphology of polysilicon MEMS structures during fatigue

Beteiligte:

Shrotriya, P. (Autor:in) / Allameh, S. M. (Autor:in) / Soboyejo, W. O. (Autor:in)

Erschienen in:

MECHANICS OF MATERIALS ; 36 ; 35-44

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

10 pages

ISSN:

0167-6636

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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