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    Dokumentinformationen
    Titel:

    The challenges of 157 nm nanolithography: surface morphology of silicon-based copolymers

    Beteiligte:

    Sarantopoulou, E. (Autor:in) / Kollia, Z. (Autor:in) / Kocevar, K. (Autor:in) / Musevic, I. (Autor:in) / Kobe, S. (Autor:in) / Drazic, G. (Autor:in) / Gogolides, E. (Autor:in) / Argitis, P. (Autor:in) / Cefalas, A. C. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -AMSTERDAM THEN LAUSANNE- C ; 23 ; 995-999

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2003

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    0928-4931

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.1 / 660

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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