Depth dependences of the ion bombardment induced roughness and of the interdiffusion coefficient for Si/Al multilayers: Fid-Bau Portal

Depth dependences of the ion bombardment induced roughness and of the interdiffusion coefficient for Si/Al multilayers

Wang, J. Y. / Zalar, A. / Mittemeijer, E. J.

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Titel:

Depth dependences of the ion bombardment induced roughness and of the interdiffusion coefficient for Si/Al multilayers

Beteiligte:

Wang, J. Y. (Autor:in) / Zalar, A. (Autor:in) / Mittemeijer, E. J. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 222 ; 171-179

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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