An investigation of fatigue in LIGA Ni MEMS thin films: Fid-Bau Portal

An investigation of fatigue in LIGA Ni MEMS thin films

Allameh, S. M. / Lou, J. / Kavishe, F. / Buchheit, T. / Soboyejo, W. O.

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Titel:

An investigation of fatigue in LIGA Ni MEMS thin films

Beteiligte:

Allameh, S. M. (Autor:in) / Lou, J. (Autor:in) / Kavishe, F. (Autor:in) / Buchheit, T. (Autor:in) / Soboyejo, W. O. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING A ; 371 ; 256-266

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

11 pages

ISSN:

0921-5093

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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