Performances of hafnium oxide produced by radio frequency sputtering for gate dielectric application: Fid-Bau Portal

Performances of hafnium oxide produced by radio frequency sputtering for gate dielectric application

Pereira, L. / Marques, A. / Aguas, H. / Nedev, N. / Georgiev, S. / Fortunato, E. / Martins, R.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Performances of hafnium oxide produced by radio frequency sputtering for gate dielectric application

Pereira, L. / Marques, A. / Aguas, H. / Nedev, N. / Georgiev, S. / Fortunato, E. / Martins, R.

Performances of hafnium oxide produced by radio frequency sputtering for gate dielectric application

Pereira, L. / Marques, A. / Aguas, H. / Nedev, N. / Georgiev, S. / Fortunato, E. / Martins, R.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Performances of hafnium oxide produced by radio frequency sputtering for gate dielectric application

Beteiligte:

Pereira, L. (Autor:in) / Marques, A. (Autor:in) / Aguas, H. (Autor:in) / Nedev, N. (Autor:in) / Georgiev, S. (Autor:in) / Fortunato, E. (Autor:in) / Martins, R. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 109 ; 89-93

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

Son, S. Y. / Jang, J. H. / Kumar, P. et al. | British Library Online Contents | 2008

Electrical Performances of Low Temperature Annealed Hafnium Oxide Deposited at Room Temperature

Pereira, L. / Barquinha, P. / Fortunato, E. et al. | British Library Online Contents | 2006

Electrochromic Performances of Nanosized Nickel Oxide Films Deposited by Mid-frequency Magnetron Sputtering

Wang, L.-g. / Li, J.-f. / Li, G.-q. | British Library Online Contents | 2009

Characterization of HfOxNy gate dielectrics using a hafnium oxide as target

Liu, M. / Fang, Q. / He, G. et al. | British Library Online Contents | 2006

Hafnium oxide fiber, preparation method thereof and application of hafnium oxide fiber in antioxidant coating

CHEN SHI / XU JIANBO / QIU XINCHAO et al. | Europäisches Patentamt | 2020

Freier Zugriff

Nach oben