Composition, Structure and Optical Characteristics of Polymorphous Silicon Films Deposited by PECVD at 27.12 MHz: Fid-Bau Portal

Composition, Structure and Optical Characteristics of Polymorphous Silicon Films Deposited by PECVD at 27.12 MHz

Martins, R. / Aguas, H. / Ferreira, I. / Fortunato, E. / Raniero, L. / Cabarrocas, P. R.

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Titel:

Composition, Structure and Optical Characteristics of Polymorphous Silicon Films Deposited by PECVD at 27.12 MHz

Beteiligte:

Martins, R. (Autor:in) / Aguas, H. (Autor:in) / Ferreira, I. (Autor:in) / Fortunato, E. (Autor:in) / Raniero, L. (Autor:in) / Cabarrocas, P. R. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 455/456 ; 100-103

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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