Nitride-based Schottky diodes and HFETs fabricated by photo-enhanced chemical wet etching: Fid-Bau Portal

Nitride-based Schottky diodes and HFETs fabricated by photo-enhanced chemical wet etching

Su, Y. K. / Chang, S. J. / Kuan, T. M. / Ko, C. H. / Webb, J. B. / Lan, W. H. / Cherng, Y. T. / Chen, S. C.

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Titel:

Nitride-based Schottky diodes and HFETs fabricated by photo-enhanced chemical wet etching

Beteiligte:

Su, Y. K. (Autor:in) / Chang, S. J. (Autor:in) / Kuan, T. M. (Autor:in) / Ko, C. H. (Autor:in) / Webb, J. B. (Autor:in) / Lan, W. H. (Autor:in) / Cherng, Y. T. (Autor:in) / Chen, S. C. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 110 ; 260-264

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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