Photo-enhanced chemical wet etching of GaN: Fid-Bau Portal

Photo-enhanced chemical wet etching of GaN

Ko, C. H. / Su, Y. K. / Chang, S. J. / Lan, W. H. / Webb, J. / Tu, M. C. / Cherng, Y. T.

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Titel:

Photo-enhanced chemical wet etching of GaN

Beteiligte:

Ko, C. H. (Autor:in) / Su, Y. K. (Autor:in) / Chang, S. J. (Autor:in) / Lan, W. H. (Autor:in) / Webb, J. (Autor:in) / Tu, M. C. (Autor:in) / Cherng, Y. T. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 96 ; 43-47

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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