Investigation of Thick 3C-SiC Films Re-Grown on Thin 35 nm "Flash Lamp Annealed" 3C-SiC Layers: Fid-Bau Portal

Investigation of Thick 3C-SiC Films Re-Grown on Thin 35 nm "Flash Lamp Annealed" 3C-SiC Layers

Ferro, G. / Panknin, D. / Stoemenos, J. / Balloud, C. / Camassel, J. / Polychroniadis, E. / Monteil, Y. / Skorupa, W.

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Ferro, G. / Panknin, D. / Stoemenos, J. / Balloud, C. / Camassel, J. / Polychroniadis, E. / Monteil, Y. / Skorupa, W.

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Titel:

Investigation of Thick 3C-SiC Films Re-Grown on Thin 35 nm "Flash Lamp Annealed" 3C-SiC Layers

Beteiligte:

Ferro, G. (Autor:in) / Panknin, D. (Autor:in) / Stoemenos, J. (Autor:in) / Balloud, C. (Autor:in) / Camassel, J. (Autor:in) / Polychroniadis, E. (Autor:in) / Monteil, Y. (Autor:in) / Skorupa, W. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 457/460 ; 313-316

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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