Electrical Characterization of Semi-Insulating 6H-SiC Substrates: Fid-Bau Portal

Electrical Characterization of Semi-Insulating 6H-SiC Substrates

Sanchez, E. / Wan, J. / Wang, S. / Loboda, M. / Li, C. / Skowronski, M.

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Titel:

Electrical Characterization of Semi-Insulating 6H-SiC Substrates

Beteiligte:

Sanchez, E. (Autor:in) / Wan, J. (Autor:in) / Wang, S. (Autor:in) / Loboda, M. (Autor:in) / Li, C. (Autor:in) / Skowronski, M. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 457/460 ; 669-672

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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