Non-Contact Doping Profiling in Epitaxial SiC: Fid-Bau Portal

Non-Contact Doping Profiling in Epitaxial SiC

Savtchouk, A. / Oborina, E. / Hoff, A. M. / Lagowski, J.

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Titel:

Non-Contact Doping Profiling in Epitaxial SiC

Beteiligte:

Savtchouk, A. (Autor:in) / Oborina, E. (Autor:in) / Hoff, A. M. (Autor:in) / Lagowski, J. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 457/460 ; 755-758

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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