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    Titel:

    On the reliability of SIMS depth profiles through HfO~2-stacks

    Beteiligte:

    Vandervorst, W. (Autor:in) / Bennett, J. (Autor:in) / Huyghebaert, C. (Autor:in) / Conard, T. (Autor:in) / Gondran, C. (Autor:in) / De Witte, H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 231/232 ; 569-573

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2004

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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