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    Titel:

    XPS analysis of carrier trapping phenomena in ultrathin SiO2 film formed on Si substrate

    Beteiligte:

    Hirose, K. (Autor:in) / Kawashiri, S. (Autor:in) / Hattori, T. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 234 ; 202-206

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2004

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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